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真空泵是一種旋(xuán)轉(zhuǎn)式變容積氣體輸送(sòng)泵,真空泵(bèng)須有(yǒu)前級泵(bèng)配合方(fāng)可使(shǐ)用在(zài)較寬(kuān)的壓(yā)力範圍内(nèi)有較大(dà)的抽(chōu)速(sù),對被抽除(chú)氣體(tǐ)中含有(yǒu)灰(huī)塵和(hé)水蒸(zhēng)汽不敏感(gǎn),真空泵包(bāo)括幹(gàn)式螺杆真空泵(bèng)、水環泵、往(wǎng)複泵(bèng)、滑閥泵、旋(xuán)片泵(bèng)、羅茨(cí)泵(bèng)和(hé)擴散(sàn)泵(bèng)等(děng),廣泛(fàn)用于冶金、化工(gōng)、食品、電(diàn)子鍍膜(mó)等行業。
特(tè)點
(1)在較寬(kuān)的壓(yā)力範(fàn)圍(wéi)内有較(jiào)大的抽速(sù);
(2)轉子具有良(liáng)好的幾(jǐ)何對稱(chēng)性(xìng),故振(zhèn)動小,運轉平穩(wěn)。轉子(zǐ)間及(jí)轉子(zǐ)和殼體間均有(yǒu)間隙,不用潤滑(huá),摩擦(cā)損失小,可(kě)大(dà)大降低驅動功率,從而(ér)可實(shí)現較高轉速;
(3)泵(bèng)腔内無需用油密封(fēng)和潤滑,可(kě)減(jiǎn)少油蒸氣對(duì)真空系(xì)統的(de)污(wū)染;
(4)泵腔内無壓(yā)縮,無(wú)排氣閥。結(jié)構簡(jiǎn)單、緊湊,對(duì)被抽氣體(tǐ)中的(de)灰塵和水蒸(zhēng)汽(qì)不敏感(gǎn);
(5)壓(yā)縮比較低,對(duì)氫氣抽(chōu)氣效(xiào)果差;
(6)轉子(zǐ)表面為形狀較(jiào)為複雜的曲線(xiàn)柱面,加工(gōng)和檢(jiǎn)查比較困難。
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